台積電成功建立本土微影材料供應鏈 年產值超過15億元

台積電（2330）持續強化本土供應鏈，新一期ESG成果揭露微影製程材料，成功建立本土供應鏈生產線，年產值超過新台幣15億元，材料運輸效率更提升75%。

台積電表示，提升永續風險控管是公司落實責任供應鏈重要策略，為確保製程關鍵材料穩定供應，除推動光阻供應商來台設廠達成在地化生產外，亦積極強化本土供應商的技術研發能力，且在不影響原有製程品質與保護機密資訊原則下，以七大環節輔導供應商開發品質符合公司標準的微影製程材料，也成功建立本土供應鏈生產線。

台積電資訊技術及資材暨風險管理資深副總經理林錦坤指出，台積電透過扶植本土供應商具備關鍵材料開發能力，深化供應鏈營運永續性，進而提升台灣半導體產業競爭優勢，達到雙贏共好。

台積電說明，微影製程在半導體製造過程至關重要，是確保晶片品質與穩定性的核心技術之一，因材料研發及生產技術門檻高，過往主要仰賴進口供料。為提升本土供應鏈研發實力與生產效率，2019年資材供應鏈管理處攜手奈米製像技術發展處展開「供應商原物料技術輔導計畫」。

該計劃七大環節包括「技術開發、品保分析、數據校正、樣品驗證、廠務配置、桶槽改善、擴產規畫」，有效縮短供應商50%產線建置與產品驗證時間，材料品質更優於台積電製程標準、進一步提升良率，全方位強化供應商競爭力。

台積電強調，輔導供應商精進原物料製程與品質是公司永續供應鏈管理的長期目標之一，除微影製程外，也將針對不同製程持續強化本土供應鏈的研發與製造實力，透過共同開發多元貨源及環保的新材料，降低營運中斷風險並友善環境。

除了材料供應部分，設備方面，台積電也針對原機台進一步優化，提升資源使用料率，如攜手供應商首創晶圓清洗機台熱水循環系統，省水80%；去年還針對既有廠區晶圓清洗機台進一步打造「熱水循環系統2.0版」，利用模組化設計克服無塵室場域限制，在不影響節能效果的前提下，系統設備占地面積減少60%、改造作業效率提升90.5%，大幅優化改機與安裝便利性。

台積電揭露，今年4月已導入晶圓十二B廠，節省純水2.4萬公噸、省電38.8萬度，預估2030年既有十二吋晶圓廠區全面導入後可年省純水1160萬公噸、省電4.5億度。並同時評估熱水循環系統2.0版納入先進製程機台採購標準規格，於新機台引進前即完成對應的設計驗證及元件安裝，讓初運轉時即達到節水省電效益。

另外，包材部分，台積電透過原物料包材減量行動落實循環經濟，進一步攜手供應商優化包材回收及再利用能力，首次針對先進製程特用化學品的桶裝包材開發客製化清洗技術，使桶裝包材可重複利用，同樣在今年4月也已成功導入晶圓十五B廠，晶圓十二B廠、晶圓十八A廠亦同步進行驗證，預計2015年全面導入十二吋晶圓廠區後可年減碳2000公噸。

今年台積電還將持續針對溶劑基型清洗液、電鍍液等不同先進製程特用化學品桶裝包材，攜手供應商開發及驗證清洗技術，進而再擴大減碳效益。

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• Yahoo財經特派記者 呂俊儀：資深財經媒體工作者，曾任採訪團隊主管，專訪過長榮集團創辦人張榮發、鴻海創辦人郭台銘，也歷經台積電創辦人張忠謀退休記者會等大事件，堅持產出最專業、富有洞見的新聞。